Die Norm DIN EN ISO 14644-1 definiert den Reinheitsgrad durch die Bestimmung von Grenzwerten für die maximal zulässige Partikelkonzentration pro m³ Luft und unterteilt Reinräume in die Klassen ISO 1 bis 9. Reinheitsklasse 1 ist dabei die reinste, sprich die maximal erlaubte Partikelkonzentration ist am geringsten. Die Klasse 9 hingegen erreicht die niedrigste Reinheit. Für die meisten Anwendungen im ISO-Bereich sind die Reinraumklassen 7 und 8 ausreichend. Die ISO-Klasse 5 entspricht der Reinheitsklasse A gemäß EG-GMP-Leitfaden und erfüllt besonders hohe Reinheitsanforderungen.
Die DIN EN ISO 14644-1 löste im Jahr 2001 den Standard US FED STD 209E ab.